设计加热器可参考以下几个步骤:
一、选材和确定石墨加热器形状
加热器一般用高纯石墨制成,高纯石墨的电阻率,加热器目前通常做成筒形。
二、确定石墨模具托碗壁厚
石墨托碗壁厚一般为3毫米—6毫米
三、确定石墨加热器内径
根据给定坩埚直径和石墨托碗壁厚,算出加热器内径。
Φ内=石英坩埚外径+2倍石墨托碗壁厚+2倍石墨托碗和加热器的间隙
若石墨托碗壁厚为a,石墨托碗与加热器的间隙为b(b=5毫米),
Φ内=Φ外坩+2a+2b=Φ外坩+2(a+b)
四、确定石墨加热器有效高度
经过长期实践,加热器有效长度为石英坩埚高的1.6倍至1.8倍。
若加热器高为H,石英坩埚高为h
H=(1.6~1.8)h一般取H=1.7h
五、确定石墨加热器片数,算出片宽。
加热器一般为16片、20片、24片三种形式,目前一般为20片。
若加热器片宽为,片与片的间隙为2毫米
六、确定石墨加热器厚度
加热器采用并联电路形式导电,加热器总电阻为R,每联的电阻为R1,加热器的壁厚为d
七、确定石墨加热器外径
以上计算只能做参考,在实际生产中,不一定用到单晶炉*大功率,所以计算和实际有一这距离,但它毕竟给出一个范围,在实际制作加热器时还是*有用的。