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石墨热场之石墨器件损坏的原因

发布时间:2019-11-26 11:32:12 浏览:953次

    *先我们来了解石墨的有关特性


    1.耐高温性,石墨的熔点极高,在真空为3850度,在低压下升华,升华温度为2200度,与一般材料不同,当温度升高时石墨不但不软化,强度反而增高,在2500度时,石墨的抗拉强度反而增加一倍。


    2.特殊的抗热震性,石墨的热膨胀性具有各向异性,因而宏观膨胀系数不大,在温度骤变的情况下,石墨的体积变化也不大,再加上其良好的导热性能,因而石墨的抗热震性良好。诸上两点所述,石墨件应该能够长时间的在高温下稳定工作。

石墨模具|石墨棒|石墨坩埚

    目前单晶硅厂家使用的石墨热场都是比较成功的,一是因为石墨毡保温,总厚度达到100MM以上,保证了径向温度梯度尽可能小的条件,二是因为热场大,使用的坩埚一般都是在250MM以上,这样保温罩、保温盖的口径也大了,有充分的纵向散热功能,保证了晶体的纵向温度梯度足够大的条件,同时加强托碗底部的保温效果,保证了熔体中的纵向温度梯度比较大的条件,这种热场成晶率高,有利单晶从头到尾进行无位错生长,不必进行过多的调整,差异在成品率的高低和节能的效果不一样,然而这些指标往往又和设备的优良成度以及管理水平等综合因素相关联,从热场的结构上讲,有的加强了径向保温,采有碳碳复合材料来降低能耗等。


    众所周知,热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。在生产过程中,经常能碰到加热器件损坏的现象,那么石墨器件损坏的原因是什么,应该采取什么样的措施来延长石墨器件的寿命呢?石墨器件的损坏,主要有人为和劣化两个方面的原因。人为方面只要加强管理,强化员工防范意识,就可以将损失降到*低点。