辉县市金镶玉石墨模具制品有限公司小编给大家说说如何对石墨做煅烧加工,下面就是细致的步骤,一同来看看吧。
一、工作分配
提供高纯度的石墨卡瓣和石墨基座,为消费*太阳能级多晶硅奠定根底。
二、职位的职责
1、煅烧石墨*件的制备
2、石墨*件的清洗
3、石墨*件的枯燥
4、石墨*件的煅烧
三、流程原理
石墨加工中挥发性物质经过高温煅烧除去,以避免杂质污染多晶硅在复原和拉伸硅芯。
四、工艺指标
1、真空泵低真空至30格栅(1x 10-3齿轮)
2、扩散泵高真空到90格栅(1x 10-3齿轮)
3、焙烧炉高压启动后20分钟升压,每次0.5V。
4、煅烧炉温度至1550℃
五、停车及紧急停车程序及操作办法
1、沸腾冷却水阀
2、翻开真空泵
3、闭式扩散泵制动刀、预热扩散泵
4、当低真空到达30格栅(1x 10-3齿轮)时,翻开真空阀,关闭低真空阀。
5、翻开高真空阀,高到90格栅(1x 10-3齿轮)
6、翻开高压开关,20分钟后升高电压。当真空度等于80-90格时,压力增加到8(x5),炉温为1550℃,恒温2-3小时。
7、中止:迟缓冷却,通常10分钟,中止高压电源,中止扩散泵,关闭真空阀,中止炉子,关闭冷却水阀。
8、拆炉:拆炉后,戴好口罩和高纯手套,将石墨件拆下,用洁净的塑料袋密封。
9、紧急停车:先停真空泵,然后停电,*后停水。
六、石墨加工常见事故的剖析与处置
(1)停水:立刻关闭真空泵阀门,然后关闭电源。
(2)停电:关闭真空泵阀门,等候石墨炉和扩散泵温度降至室温,然后关闭电源,*后关闭循环水阀门。
(3)不能抽真空:停炉检查密封件的密封状况。
七 连锁、报警
水压、温度、真空、电压和电流
八、设备清单
循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉
九、石墨加工工艺流程
石墨清洗→装炉→抽真空→开炉→升温→恒温→降温
石墨棒,石墨模具等各类石墨制品,欢迎联系辉县市金镶玉石墨模具制品有限公司,*专注,值得信赖。